賽奧(ao)特(te)（SAT)等離子清洗機 SAT 210              

一應用(yong)領域

賽奧特（SAT)等離(li)子清(qing)洗機適用于材料科學、光學、光電子學、生命科學、電子學、生物醫學、半導體、高分子科學、微觀流體學等領域.

二(er) 主要實驗應(ying)用(yong)

  1.表(biao)(biao)面(mian)(mian)清潔(jie) 2.表(biao)(biao)面(mian)(mian)活化 3.鍵(jian)合 4.去膠 5.金屬還原(yuan) 6.簡單刻(ke)蝕(shi) 7.去除表(biao)(biao)面(mian)(mian)有(you)機(ji)物  8.疏(shu)水實驗  9.沉積實驗  10.形(xing)成新的基團  11.鍍膜前處理等

三 技(ji)術特點

1.實時(shi)檢測和顯(xian)示真空度,使得設備在智能控制下有了可靠的依(yi)據.

2.真空值可自(zi)由設定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提(ti)供了可靠的輝光啟動環(huan)境,為輝光純度提(ti)供了有利的保障,保證了實驗(yan)效(xiao)果(guo)的準確(que)性和可靠性.

3.真空腔體采用鉸(jiao)鏈側開(kai)門結(jie)構，帶有觀察窗，材料為6061材質.

4.腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.

5.電(dian)容式（CCP）激發,實驗效果(guo)穩定,均勻可靠,電(dian)極板置于(yu)樣品倉內頂部懸掛.

6.采(cai)用(yong)觸(chu)摸(mo)屏顯示控(kong)制，手動，自動兩種模式任(ren)意(yi)切換.

7.程序化設計(ji)，預先(xian)編輯好程序，儀(yi)器自動完成實驗.

8.利用氣體電離后產(chan)生的等(deng)離子體的反(fan)應活(huo)性與材料表面發生的物理或(huo)者化學反(fan)應，使材料表面成分、組成和(he)結(jie)構(gou)發生變化，并能得(de)到某些特(te)定的基(ji)團。

9.無(wu)需(xu)(xu)耗材,使用(yong)成本低,無(wu)需(xu)(xu)特殊進行維護,在(zai)日常使用(yong)中保持儀器(qi)清潔即可(ke)。

四 技術規(gui)格(ge)

1.樣品腔體(ti)尺寸：255(深度)X110（直(zhi)徑）mm ，不銹鋼(gang)材質.

2.放(fang)置樣品托(tuo)盤尺寸:105(寬)X230（長）mm，材(cai)質：6061鋁(lv)氧(yang)化本色

3.射頻頻率：40KHz .

4.射頻功(gong)率:200W，0到200W可調(diao)，精度：1瓦.

5.輝光放(fang)電(dian)功率：10W---200W

6.輝光放電時間設定(ding)：1秒到99分59秒.

7.氣(qi)路設置:3氣(qi)路（2路進(jin)氣(qi)，一路放空）.

8.工作氣體穩(wen)定時間:可(ke)調，可(ke)設定，范圍：0--180秒.

9.進(jin)氣(qi)控制(zhi)：兩路浮子流量計控制(zhi)

10.工作氣(qi)(qi)體(ti):空氣(qi)(qi)\氮氣(qi)(qi)\氬氣(qi)(qi)\氮氫(qing)混(hun)合氣(qi)(qi)\氬氦(hai)混(hun)合氣(qi)(qi)等均可; 也可接(jie)入(ru)無腐蝕性、無毒的工作液體(ti)溶(rong)液，例(li)如:六甲基二硅(gui)氧烷(HMDSO)，接(jie)入(ru)工作液體(ti)需要選(xuan)配接(jie)枝儀來(lai)配套(tao)使用。

11.進(jin)氣壓力(li)：通入(ru)空(kong)氣時常壓，接入(ru)鋼瓶(ping)時，鋼瓶(ping)進(jin)氣壓力(li)調整到(dao)0.1-0.2Mpa

12.供(gong)電電源：~220V／50Hz

13.外形尺寸（寬*深*高）mm:440ⅹ490ⅹ485

14.整機重(zhong)量（約）：20Kg

五(wu) 真(zhen)空泵

標準配置(zhi)為機械油(you)泵(beng)：1）抽速:2升/秒 2）極(ji)限(xian)壓強：6*10-2帕   3）噪音;≤66db 4）抽氣(qi)KF16法(fa)蘭接口(kou)，排(pai)氣(qi)口(kou)KF25接口(kou) 5）電源(yuan)線為陰插線

六 基本配(pei)置

主機+真(zhen)空系統（雙極機械(xie)真(zhen)空油(you)泵(beng)、油(you)霧過濾器、真(zhen)空管(guan)、KF16法蘭）、外加氣體軟管(guan)、樣品托盤、說(shuo)明書、電源線(xian)、合格(ge)證

七選配件

（一）機械油泵 型(xing)號(hao)：VRD-8

1.抽(chou)速:2.2升/秒   2.極限壓強(qiang)：≤5*10-2帕   3.噪(zao)音;≤56db   4.工作環境溫度：5—45

（二）干泵（1）  型號：GWSP150

1.抽速:2升/秒  2.極限壓強：≤6帕    3.噪音(yin);≤57db    

4.工作環境溫度：5--45℃

  干泵（2）型號： SPH10

1.抽速(su):2.8升/秒  2.極(ji)限(xian)壓強：≤2帕  3.噪音;≤55db

4.工作(zuo)環境溫(wen)度：5--45℃